Makyoh-topográfia: egy egyszerű és hatékony eljárás félvezető szeletek simaságának vizsgálatára
Riesz Ferenc, Lukács István Endre, Szabó János, Makai János, Laczik Zsolt*,
Pődör Bálint, Réti István, Szentpáli Béla, Eördögh Imre
Magyar Tudományos Akadémia, Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet, Budapest
E-mail: riesz@mfa.kfki.hu
*Department of Physics, University of Oxford
Pődör Bálint, Réti István, Szentpáli Béla, Eördögh Imre
Magyar Tudományos Akadémia, Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet, Budapest
E-mail: riesz@mfa.kfki.hu
*Department of Physics, University of Oxford
A cikk egy ősi elvű optikai vizsgálati eljárás, a Makyoh-topográfia területén Intézetünkben végzett kutatásokat ismerteti. Az ismertetett módszer félvezető szeletek és más tükörjellegű felületek simaságának kvalitatív és korlátozott kvantitatív vizsgálatára alkalmas.