Az illékonykomponens-analízis (EGA) alkalmazása AIII-BV félvezető eszközök technológiájában
Dobos László, Gergely György, Mojzes Imre, Szigethy Dezső
Dolgozatunkban - elsősorban az EGA módszer segítségével - több AIII-BV-ös vegyület-félvezető (GaAs, GaP, InP) és kontaktusfémezés között lejátszódó kölcsönhatást vizsgáltunk. Célunk elsősorban a folyamatok alaposabb megértése, valamint a tömegspektrometriai módszerek jó használhatóságának bemutatása volt. A kapott eredmények további információval szolgálnak a rendszerben lejátszódó termodinamikai-metallurgiai folyamatokról. Ohmos fémezések tömegspektrometriai, elektromos és pásztázó elektronmikroszkópos vizsgálata az optimális hőkezelés paramétereinek megállapítására nyújtott támpontot.