Auger elektron spektroszkópia (AES) alkalmazása a híradás- és vákuumtechnikai alkatrészek vizsgálatánál.
Menyhárd Miklós és Gergely György
MTA MFA
Az Auger elektron spektroszkópiával (AES) [1] megtudjuk határozni a felület 1-3 atomi rétege vastag tartományának összetételét. Mivel egyszerű és viszonylag nem túlságosan költséges talán a legelterjedtebb felület analitikai módszer. A fizikai paraméterek (információs mélység, gerjesztési hatáskeresztmetszetek, Auger visszaszórási tényező stb.) ismerete mellett a spektrumok kiértékelése sem túlságosan bonyolult. A paraméterek meghatározásának hatékony eszköze az MFKI-ban kifejlesztett rugalmas elektronszórás spektrometria (EPES) [2], az AES egyik kiegészítő módszere.