Berényi Richárd
Fémezési technológia és lézeres furatkészítés furatfémezett flexibilis hordozók elôállítására
A rajzolatfinomság folyamatos növelése megköveteli újfajta áramköri hordozók elôállítását melyek képesek követni a mikrochipek fejlôdését. A cikkben beszámolunk a lézeres fúrás optimalizálásáról és a flexibilis polimer hordozók rézzel történô bevonására vonatkozó kutatásunkról. Az alkalmazott nagysebességû lézerrendszer használata lehetôvé teszi, hogy költséghatékony módon állítsunk elô mikroviákat polimer hordozóban. Szabadalmaztatott eljárásunk keretében a furatfémezési és a polimer rétegre történô fémleválasztást egy lépésben végezzük el. A kialakult réz összefüggô, jól tapadó alapréteget biztosít a galván réz növesztéséhez.