Gordon Péter, Balogh Bálint
Lézersugár paraméterszabályozása többrétegû struktúrák mintázatának függvényében
Az elektronikai ipar fejlôdésének záloga a méretek folyamatos csökkentése, ami már a hagyományos technológiák tökéletesítésével sok esetben lehetetlen. A lézerek alkalmasak lehetnek ezek kiváltására, de mivel nem ismerjük tökéletesen a lézeranyag kölcsönhatás során lejátszódó folyamatokat, ezért jelenleg még nem tudjuk maximálisan kiaknázni a lézerek nyújtotta lehetôségeket. A cikkben ismertetjük a kölcsönhatás jellegét, a hordozón kialakított mintázat és a megmunkálási paraméterek hatásait a megmunkálás eredményére. Célunk a lézersugár paramétereinek mintázat és anyagfüggô változtatásával a lézeres megmunkálásban rejlô lehetôségek még jobb kihasználása.