GÁBOR ZSOLT-MÁDL KATALIN:
Interrétegek vizsgálata pásztázó elektronmikroszkóppal
Az integrált áramköri technológiában a méretek folyamatos csökkenésével a többszintű' fémezések alkalmazása egyre nélkülözhetetlenebbé válik. Az interrétegek - melyek az egyes fémszinteket szigetelik el egymástól - tú'lyukasságuk és lépcsőfedésük szempontjából jól minősíthetők pásztázó elektronmikroszkóp segítségével. Kísérleteink során különböző szigetelőrétegeket választottunk le és hasonlítottunk össze a fenti tulajdonságok alapján, s arra kerestük a választ, hogy hazai körülmények között melyek a legalkalmasabbak interrétegként való felhasználásra.