DR. HÁMORI ANDRÁS - TÖRÖK PÉTER
Korszerű mikrólitográfiák
A litográfiával foglalkozó szakemberek az elmúlt évtizedben jelentős kutatásokat végeztek annak érdekében, hogy milyen eljárással lehetne mikronos illetve mikronnál finomabb elemi vonalszélességű félvezetőstruktúrákat létrehozni. Ennek érdekében kidolgozták az elektron-, lézer-, RTG- és ionsugaras litográfiákat. A cikk témája ezek egybevetése különféle szempontok szerint, kiemelve a lézersugaras litográfia megvalósításának egy új lehetőségét.