SALAH NOUREDDIN - DR. KORMÁNY TERÉZ
Precipitációs folyamatok és termikus donorképződés a szilíciumalapú
integrált áramkörgyártási technológiában
Szilícium egykristály-szeletekben a precipitációs folyamatokat és a termikus donorképződést vizsgáljuk, különböző hőkezelési sorrendek esetén. Közepes kiindulási oxigéntartalom esetén magashőmérsékletű 1200 C előhőkezelés és a hosszan tartó 650 C-os hőkezelés a precipitációt segíti elő A termikus donorok és új donorok kiküszöbölésére a technológiai sorban célszerű 1000 C-os hőkezelést alkalmazni 450 C-os, 600 C-os és 800 C-os hőmérsékletű lépések után.