DR. MIZSEI JÁNOS - DR. ZÓLOMI IMRE
Szigetelő rétegek félvezetőkön
A cikk a félvezető-szigetelőréteg szerkezetek kutatásának legújabb eredményeit ismerteti a Leuvenben (Belgium) 1987-ben megrendezett „Insulating Films on Semiconductors" c. konferencia tükrében [1 ]. A konferencia elméleti jellegű volt, de szorosan kapcsolódott a félvezető eszközök fejlesztésében felmerülő kérdésekhez. A félvezető eszközök méretcsökkentése az eddig megszokott eredmények felülvizsgálatára, ellenőrzésére és pontosítására kényszerít, még az olyan, látszólag már teljesen feltárt területeken is, mint a sío2-SÍ rendszer. Ugyanakkor megnő a jelentősége az olyan jelenségek vizsgálatának, amelyek eddig még elhanyagolhatók voltak az eszköz-működés szempontjából.