H. G. SCHNEIDER-B.JUNGHANS:
A mikroelektronikai technológiák és anyagok fejlődésének mai irányzatai
A szilíciumalapú és a A IIIBv-félvezető vegyületekből készült mikroelektronikai alkatrészek fejlődési irányait foglalja össze a közlemény, különös tekintettel az integráltsági fok növekedéséből és a kapcsolási idő csökkentéséből adódó kérdésekre. A bonyolult technológiafejlődés számos anyagtudományi kérdést is felvet. A jelen és közeljövő félvezető alapanyaga a szilícium, valamint az A III-Bv-félvezető anyagok közül a GaAs és az InP, továbbá az Al-tartalmú három- és négykomponensű szilárd oldatok tulajdonságai is tárgyalásra kerülnek.