DR. GYÚRÓ IMRE - SOMOGYI KÁROLY - NEMCSICS ÁKOS - MÉSZÁROS ISTVÁN
Mikrohullámú célra történő gőzfázisú GaAs epitaxiális növesztés az MTA MFKI-ban
Jelen munka röviden ismerteti az MTA MFKI-ban a mikrohullámú célra történő GaAs gőzfázisú epitaxiális növesztés területén végzett tevékenységet és annak eredményeit. Tárgyalásra kerülnek az alkalmazott módszer alapkérdései, a berendezésünkben végrehajtott kísérletek eredményei, az azokból levont következtetések, valamint példákat mutattunk be az egyes rétegszerkezetek tipikus koncentrációeloszlás profiljára.