DR. MIZSEI JÁNOS
Kémiai érzékelők félvezetőkkel
A cikk a félvezető alapú kémiai érzékelők néhány jelenlegi fejlesztési eredményét foglalja össze a Bad Nauheimbeu (NSZK) megrendezett „Sensoren-Technologio und Anwenduiig" c. konferencia alapján. Ezekkel a - térvezérlésű tranzisztor (MOS) vagy ellenállás típusú (homogén) - érzékelőkkel oldatok és gázok vizsgálhatók. A fejlesztés néhány fő tényezője: a felület módosítása az érzékelési tulajdonságok javítása céljából a technológiai folyamatok fejlesztése, gyakorlati és elméleti kutatások a szelektív érzékeléssel kapcsolatban. Fontos az érzékelő technológia és a mikroelektronika közötti kapcsolat is.