DR. VÁGÓ GYÖRGY - KERTÉSZ GÁBOR - BACKHAUSZ LÁSZLÓ
- SZAKÁLY ISTVÁN - GLASER PÉTER
A MEV Penning-kisüléses katódporlasztó forrásai (PENTRON)
A cikk a katódporlasztásnak a Penning-kisülésen alapuló változásával foglalkozik, amelyet a szakirodalomban magnetronos porlasztásnak is neveznek. Az első rész a Penning-porlasztás működési elvét és a mikroelektronikában betöltött szerepét mutatja be. A második rész a MEV PENTRON katódporlasztó forrásait ismerteti, kitérve a segédmágnesekkel kiegészített mágneses elrendezés előnyeire A befejező rész néhány kész technológiát, valamint több további alkalmazási lehetőséget mutat be.