DR. LIGETI RÓBERTNÉ - DR. KOLTAI MÁRTA
Mikroelektronikai technológiákkal megvalósítható érzékelők
A cikk áttekintést ad a félvezető, vastag-, ill. vékony réteg technológiai alapon a ME V-ben kifejlesztett és már gyártásban lévő opto-, piezórezisztív-, hő-, és gázérzékelő elemekről, valamint a fejlesztési célkitűzésekről.