MÁNYOKI ZOLTÁN
A szilícium termikus oxidációja és a belső getterezés
A bonyolult IC-technológiákban egyre inkább elterjed a belső getterezés alkalmazása. Ennek az eljárásnak a többi technológiai lépéssel való kölcsönhatása még tisztázásra szorul. A szerző kísérletet végzett a termikus oxidáció és a belső getterezés kapcsolatának föltárására. Megállapította, hogy hosszú időtartamú második getterezési hőkezelésre van szükség, és, hogy a kristály széntartalma fokozza az oxigén precipitálódását. Korrelációt állított föl a kisebbségi töltéshordozók élettartama és a precipitálódás mértéke között.