VANKÓ PÉTER
Ponthibák szerepe és vizsgálata Si egykristályban
A ponthibák vizsgálata központi kérdéssé vált a szilícium szelettechnológiában. A szerző áttekinti a Si legfontosabb szennyezőinek: az oxigénnek, a szénnek, az átmeneti- és nemesfémeknek a szerepét. A vizsgálati módszerek közül kiemeli a DLTS-módszert és ismerteti saját méréseit, melyeket vassal szennyezett n-Si szeleteken végzett.