DR. VESZÉLY GYULA—DR. ZOMRORY LÁSZLÓ:
Monolit integrált áramkörök adalékolási és oxidálási technológiai lépéseinek kétdimenziós szimulációja. Összefoglaló.
A cikk ismerteti azokat az effektusokat, amelyek az adalékeloszlás kétdimenziós ismeretét igénylik. Összefoglalja azokat a technológiai lépéseket, amelyeknél indokolt a kétdimenziós szimuláció és ismerteti a szimuláció modelljeit és algoritmusait.