FAZEKAS ZOLTÁN:
Az integrált áramköri fotomaszkok automatikus vizuális ellenőrzése
E cikk röviden tárgyalja az automatikus vizuális ellenőrzés ipari alkalmazásánál; általános kérdéseit. Ismerteti az integrált áramkörök gyártásánál használt fotomaszkok automatikus vizuális ellenőrzésének gazdasági, műszaki hátterét, s az ellenőrzés különböző módszereit. Bemutat egy jellemző rendszert.