DR. KALMÁR GÁBOR-DR. NÉNYEI ZSOLT:
Alumínium fémezésű műanyagtokozott félvezető eszközök kloridos degradaciójának egyik forrása
A pressure cooker test alkalmazása lehetővé tette a műanyagtokos félvezető eszközök vegyi hibamechanizmusainak pontosabb feltárását. A klór szennyezés eddig publikált forrásainak és degradációt keltő hatásának összefoglalása után közöljük újabb kutatási eredményeinket, melyek szerint az eszközök Mór szennyezése bizonyos mosási-tisztítási műveletekből is származhat. Figyelembe véve a műanyagtokos félvezető eszközök különböző klórozott szénhidrogénekkel szemben tanúsított érzékenységét, megjelöljük a tisztító vegyszerek azon csoportját, melyet a félvezető gyártók és felhasználók veszélytelenül alkalmazhatnak.