DR. GOTTWALD PÉTER
Félvezető rétegek soros ellenállásának szerepe és vizsgálata az adalékeloszlás mérése alapján
Félvezető rétegek soros ellenállásának szerepe és vizsgálata az adalékeloszlás mérése alapján
A félvezető eszközök paramétereit döntően az adalékatomok eloszlása határozza meg. Ettől függ pl. a kapacitásdiódák soros ellenállása is. A cikkben ismertetésre kerül egy olyan áramkör, amely a Budapesti Műszaki Egyetemen kifejlesztett adalék eloszlásmérő berendezéshez kapcsolva meghatározza egy kápacitásdiódában a kristályréteg soros ellenállásit. A megoldás előnye, hogy alacsony mérőfrekvencia (1 MHz) alkalmazható.