VÉRTESY MIKLÓS - DUCZA ISTVÁN
Hordozóanyagok és fémréteg szerkezetek mikrohullámú vékonyréteg integrált áramköri célokra
Hordozóanyagok és fémréteg szerkezetek mikrohullámú vékonyréteg integrált áramköri célokra
A cikk összefoglalja a mikrohullámú vékonyréteg áramkörök hordozó anyagaival, ellenállásrétegeivel, valamint vezető rétegeivel szembenMámasztott követelményeket, villamos és mechanikus paramétereiket, az alkalmazott technológiai eljárásokat. Ismerteti a TKI—HIKI együttműködésben kifejlesztett vékonyréteg áramkörök rendszerét.