Dr. Tarnay K. - dr. Mizsei J. - dr. Masszi F. - Baji
P. - Kovács B. - Rang, T. - Drozdy Gy.
Félvezető-technológia számítógépes szimulációja
A közlemény bemutatja a BME Elektronikus Eszközök Tanszékén kifejlesztett számítógépes módszert, amelynek segítségével a korszerű integrált áramköri szilícium planár-technológia lépései modellezhetők A szimuláció segítségével az egyes technológiai lépések során a félvezető struktúra elektromos paraméterei előre tervezhetők A szimuláció valamennyi szokásos donor és akceptor adalék esetén elvégezhető, a módszer figyelembe veszi az ezek között fellépő kölcsönhatásokat is. A szimuláció során nyert eredmények a fizikai modellezést végző számítógépi program bemeneti adataiként, a technika optimális tervezésére, később pedig automatizálására alkalmazhatók.