Szeles A.
Vékony felületi roncsolt rétegek jellemzése
ellipszométerrel
Az ellipszometriás mérési elv leírása és az e célra szolgáló mérőműszer Ismertetése után a vizsgálatra szánt szilíciumszeletek diszlokációsűrűségének beállítási lépéseit tárgyalja a szerző Ezt követi az ellipszometriás mérés leírása és a vizsgált szeletek diszlokációsűrűségének meghatározása. A mérések eredménye összefüggést mutat a diszlokációsűrűség és az ellipszometriás v paraméter értéke között.