Szentpáli B.:
Félvezető rétegek adalékprofiljának mérésére szolgáló készülékek
A félvezető anyagok technológiai kutatása és a félvezető eszközök fejlesztése során gyakran szükséges az adalékanyag eloszlási profil meghatározása. A cikk ismerteti az általánosan elterjedt mérési módszerek elvét, valamint áttekintést ad az ilyen célra épített célműszerekről.