Dr. Nényei Zs.—Huszka Z. —Zanati T.:
Félvezetőeszközök felület-passziválásának új módszere: a fémezés anódikus oxidálása
Megfelelő körülmények között, végrehajtott anódikus oxidációval vékony alumínium rétegek teljes vastagságukban is átoxidálhatók, ami módot ad arra, hogy planár félvezetőeszközök fémező ábráját a hagyományos fém kimarás helyett eloxálással alakítsák ki és egyben a felület Al-oxidos védelmét is megoldják. Vizsgálták vákuumpárologtatott alumínium rétegek félvezető technikai eloxálásának szempontjait és közlik az optimálisnak talált körülményeket integrált áramkörök gyártása cselén.