Kalmár G. - Stefániay V.
Félvezetőeszközök vizsgálata és hibaanalízise
pásztázó (scanning) elektronmikroszkóppal
A szerző röviden ismerteti a Pásztázó (scanning) Elektron Mikroszkóp (PEM) működési elvét, majd felvételekkel szemlélteti a szekunder elektronokkal alkotott domborzati kép alkalmazását a félvezetők hibaanalízisének területén. Tájékoztatást nyújt a diffúziós és oxidhibák, az Au-Al termokompressziós kötések és a fémezés jellegzetes meghibásodásainak területéről.