Illyefalvi - Vitéz Zs.:
Vékonyréteg ellenálláshálózatok készítése elektroeróziós mikrogravírozással
A vékonyrétegek elektroeróziós mikrogravírozása az integrált áramköri vékonyréteg ellenállások és kondenzátorok értékbeállításának elterjedt módszere. Tanszékünkön vizsgálatokat végeztünk az elektroerózió fizikájának tisztázására és a technológiai paraméterek optimalizálására. Az eljárás továbbfejlesztésének eredményeként javult az értékbeállított elemek minősége és megteremtettük a lehetőséget az ellenálláshálózatok teljes topológiájának mikrogravírozásos kialakítására is.